MNTL Karl Suss MJB3 Aligner training

Summary

In diesem Video wird eine umfassende Anleitung zur Handhabung von Probenhaltern und der Kalibrierung von Maschinen für die Fotolithografie gegeben. Es werden verschiedene Arten von Vakuumprobenhaltern vorgestellt, die für unterschiedliche Maskengrößen und Probegrößen geeignet sind. Zudem wird erklärt, wie die Einstellungen angepasst werden, um eine präzise Ausrichtung und Kalibrierung zu erreichen. Das Video bietet wertvolle Einblicke in die richtige Handhabung von Masken und Proben sowie in den Unterschied zwischen verschiedenen Kontaktmodi wie Softkontakt und Hochvakuum.

Takeaways

• 😀 Kalibrierung erfolgt mit verschiedenen Wellenlängen wie 365 nm, 320 nm und 580 nm für eine präzise Ausrichtung.
• 😀 Die Intensität der Kalibrierung wird wöchentlich angepasst, um eine konsistente Leistung zu gewährleisten.
• 😀 Es gibt vier verschiedene Arten von Probenhaltern, die speziell für 3-Zoll- und 4-Zoll-Wafer entwickelt wurden.
• 😀 Der Vakuumdruck muss während des gesamten Prozesses überwacht werden, um eine sichere Probenhaltung und präzise Ausrichtung zu gewährleisten.
• 😀 Bei der Ausrichtung sind weiche Kontaktmodi für empfindliche Proben und der Hochvakuummodus für kleinere Mikronmuster erforderlich.
• 😀 Der Standardkontaktmodus sorgt für eine gleichmäßige Druckverteilung während der allgemeinen Ausrichtung und Kalibrierung.
• 😀 Das Erkennen von Newtonringen ist ein Indikator für die korrekte Probenmaske-Kontaktverbindung.
• 😀 Feineinstellungen der X-, Y- und Z-Achsen sind erforderlich, um die Ausrichtung der Probe und der Maske zu optimieren.
• 😀 Für die Probenplatzierung und die Maskenbefestigung müssen Vakuumhalter korrekt positioniert werden, um den richtigen Kontakt und die Dichtigkeit zu gewährleisten.
• 😀 Eine regelmäßige Überprüfung der Kalibrierung und der systeminternen Werte ist notwendig, um sicherzustellen, dass alle Parameter korrekt eingestellt sind.

Q & A

Was wird in diesem Transkript beschrieben?

Das Transkript beschreibt einen technischen Prozess, der sich mit der Kalibrierung und Ausrichtung eines wissenschaftlichen Instruments befasst, das in einer Vakuumumgebung arbeitet und Proben mit Masken bearbeitet.

Warum ist die Kalibrierung bei 320 nm und 580 nm wichtig?

Die Kalibrierung bei diesen Wellenlängen ist wichtig, um die Intensität und Leistung des Instruments genau anzupassen, was für die Präzision und Zuverlässigkeit der Messungen erforderlich ist.

Welche Probenhalter werden in diesem Prozess verwendet?

Es werden verschiedene Probenhalter verwendet, darunter Halter für 3-Zoll-, 4-Zoll- und 5-Zoll-Masken, sowie spezifische Halter für Vakuumbedingungen und hochvakuumgeeignete Probenhalter.

Wann sollte der weiche Kontaktmodus verwendet werden?

Der weiche Kontaktmodus sollte verwendet werden, wenn Proben mit empfindlicheren Strukturen bearbeitet werden, insbesondere wenn keine starke Druckbelastung auf die Probe ausgeübt werden darf.

Was ist der Unterschied zwischen dem weichen Kontaktmodus und dem Hochvakuummodus?

Der weiche Kontaktmodus erzeugt weniger Druck und eignet sich für empfindliche Proben, während der Hochvakuummodus stärkeren Druck ausübt und für stabilere Proben mit größeren Mustern oder Mikrostrukturen verwendet wird.

Warum ist die Probenpositionierung kritisch?

Die genaue Positionierung der Probe ist entscheidend, um eine korrekte Ausrichtung und das Erreichen der gewünschten Präzision bei der Musterübertragung zu gewährleisten.

Wie wird der Kalibrierungsprozess für Masken durchgeführt?

Der Kalibrierungsprozess umfasst die Anpassung der Intensität des Lichts und die Ausrichtung der Probe in Bezug auf die Maske, um sicherzustellen, dass die richtigen Parameter für die Abbildung verwendet werden.

Warum sollte die Ausrichtung der Proben im Mikrometerbereich erfolgen?

Die Ausrichtung im Mikrometerbereich ist notwendig, um eine hohe Präzision bei der Übertragung von Mustern zu gewährleisten, insbesondere bei der Verwendung von Masken mit kleinen Details.

Welche Rolle spielt der Vakuumdruck während des Prozesses?

Der Vakuumdruck ist entscheidend für die stabile Positionierung der Probe und das Verhindern von Vibrationen oder Bewegungen, die das Messergebnis beeinflussen könnten.

Was passiert, wenn die Probe während des Prozesses nicht richtig fixiert ist?

Wenn die Probe nicht richtig fixiert ist, kann es zu einer fehlerhaften Musterübertragung kommen, da die Position der Probe nicht genau genug ist, was zu ungenauen Ergebnissen führen kann.